因應超越摩爾時代之智慧終端微機電環境感測器集成
Development and Integration of MEMS Environment Sensors Towards Smart and More-than-Moore Era
計畫團隊成員 Members 方維倫清華講座教授
NTHU Chair
Prof. Weileun Fang
國立清華大學動機系
PME Dept., NTHU
李昇憲教授
Prof. Sheng-Shian Li
國立清華大學奈微所
iNEMS Dept., NTHU
王玉麟教授
Prof. Yu-Lin Wang
國立清華大學奈微所
iNEMS Dept., NTHU
柯正浩副教授
Assoc. Prof.
Cheng-Hao Ko
國立台灣科技大學自控所
GIAC Dept., NTUST
Category
MEMS Sensor, Environment Sensors, MEMS Resonator, Chemical Sensor, Optical Sensors, Spectrometer
本整合型計畫結合我國最具優勢的半導體產業鏈,進行微環境感測器之設計、製造、封測、與整合,以實現微智慧環境感知中樞,包括:(1) 空氣感知中樞 – 溫濕壓、噪音、熱、PM2.5感測器,和 (2) 水質感知中樞 – 水質重金屬、光譜水質感測器。並透過手機作為操控介面,由雲端進行相關感測訊號演算分析。本計畫以智慧家庭作為環境感知中樞的情境展示,未來可以根據使用者不同的需求,選配所需之感測元件模組,以達到彈性、多工的環境感測中樞之目的。
This project leverages Taiwan’s semiconductor ecosystems to design and implement various environment sensors, and further integrates sensors for environmental sensing hubs, including air-sensing and water-sensing hubs. Moreover, smartphone is used as the user interface to upload sensing information to cloud for the applications of Smart-X.